- Pression ambiante
- Modules d'extrémité avant
- Ports de chargement/aligneurs
- Stations d'inspection
- Précision compacte
- Intégration EFEM
Description
Le manipulateur atmosphérique SIASUN Blade-D156 déplace des plaquettes (ou des substrats de type plaquette) entre les modules front-end, les ports de chargement, les aligneurs, les postes d'inspection et les interfaces d'outils de procédé à pression ambiante.
Il se positionne comme une plateforme de transfert compacte et de précision, souvent intégrée à un EFEM ou à une cellule de manipulation de matériaux intégrée.
Le Blade-D156 répond aux applications de manipulation atmosphérique dans les secteurs semi-conducteur, de l'inspection et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | Blade-D156 |
|---|---|
| Type de robot | Manipulateur atmosphérique |
| Usage prévu | EFEM, manutention en extrémité avant |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN Blade-D156 est un manipulateur atmosphérique compact pour l'intégration en EFEM et modules frontaux. Transfert de wafers de précision aux ports de chargement, aligneurs et postes d'inspection.
Manipulateur atmosphérique SIASUN Blade D156 convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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Manipulateur atmosphérique SIASUN Blade D156
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