- Manipulador a vácuo
- Ferramentas de cluster
- Deposição/gravação
- Câmaras de carga
- Estações de metrologia
- Condições de vácuo
Descrição
O Manipulador de Vácuo Série PHOENIX PLUS SIASUN opera no interior de equipamento de processo em vácuo, como ferramentas de cluster para deposição, ataque químico ou processamento em vácuo relacionado.
Transfere wafers ou substratos entre câmaras de bloqueio (load locks), módulos de processo e estações de metrologia mantendo condições de vácuo controladas.
A Série Phoenix Plus serve aplicações de manuseamento em vácuo nos setores dos semicondutores e da indústria.
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Características
Especificações
Setores
Manipulador a vácuo SIASUN da série Phoenix Plus
- Preço normal
- Preço sob consulta
Em stock
Braço robótico
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