O robô de vácuo SIASUN SM11 opera no interior de câmaras de vácuo e em arquiteturas de ferramentas em cluster. Concebido para o controlo da contaminação, repetibilidade e vida útil fiável.

Inclui uma estrutura de motor de acionamento direto, um módulo de E/S expandido, zonas de segurança configuráveis e proteção contra colisões.

O SM11 destina-se a aplicações de manuseamento a vácuo na indústria de semicondutores e na indústria em geral.

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