- Wafers de 200 mm/300 mm
- 0,5 kg de carga útil
- Design compacto
- De alta velocidade
- Elevado nível de limpeza
- Interface FOUP/cassete
Descrição
O manipulador atmosférico SIASUN Blade-DD250 suporta formatos de wafer de Φ200 mm e Φ300 mm com uma carga útil ≤0,5 kg. Posicionado como uma solução de transferência compacta, de alta velocidade e elevada pureza.
Utilizado nas interfaces entre ferramentas de processo, portas de carga e cassetes/FOUPs na automação de fábricas em salas limpas.
O Blade-DD250 destina-se a aplicações de manuseamento atmosférico na indústria semicondutora e industrial.
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Características
Especificações
Setores
Lâmina do manipulador atmosférico SIASUN DD250
- Preço normal
- Preço sob consulta
Em stock
Braço robótico
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