- Ambiente sottovuoto
- Trasferimento dei wafer
- Integrazione degli strumenti di clustering
- Movimento ripetibile
- Elevata disponibilità
- Riduzione delle particelle
Descrizione
La serie Archer di robot per vuoto SIASUN trasferisce wafer o substrati tra le camere di processo in impianti a cluster. Progettata per ambienti sottovuoto, garantisce movimenti ripetibili e un elevato tempo di funzionamento.
Si integra con moduli di automazione front-end e strumenti per cluster sottovuoto per ridurre la generazione di particelle e garantire una produzione pulita.
La serie Archer è destinata ad applicazioni nel settore dei semiconduttori e della lavorazione industriale sotto vuoto.
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Caratteristiche
Specifiche
| Modello | Robot aspirapolvere serie Archer |
|---|---|
| Tipo di robot | Trasferimento sottovuoto |
| Destinazione d'uso | Lavorazione dei semiconduttori |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
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La serie Archer di robot per il vuoto SIASUN provvede al trasferimento dei wafer all’interno di cluster tool sottovuoto. Automazione ad alta disponibilità per ambienti di lavorazione dei semiconduttori in condizioni di pulizia.
Robot aspirapolvere SIASUN serie Archer è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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Robot aspirapolvere SIASUN serie Archer
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Disponibile
Braccio robotico
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