La SIASUN Diagram 600 Vacuum Transfer Platform permite el movimiento de obleas entre interfaces de carga/descarga y módulos de proceso en vacío. Mantiene condiciones de presión controladas para reducir la contaminación.

Se utiliza principalmente para la transferencia de obleas dentro de equipos de semiconductores, en apoyo de flujos de producción repetibles.

La Diagram 600 atiende aplicaciones de transferencia en vacío en semiconductores, investigación e industria.

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