- Vacuum chambers
- Transfer modules
- Delicate substrates
- High repeatability
- Throughput focus
- Contamination control
Descripción
El robot de vacío SIASUN SM14 opera a través o dentro de cámaras de vacío y módulos de transferencia compatibles con vacío. Mueve sustratos delicados entre estaciones de proceso con alta repetibilidad.
Tecnología clave para las fábricas modernas y las líneas avanzadas de procesos al vacío donde la productividad y el control de la contaminación son críticos.
El SM14 atiende aplicaciones de transferencia al vacío en los sectores semiconductor e industrial.
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Características
Especificaciones
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