- Operación de VTM
- Cámara de transferencia
- Obleas de silicio
- Cámaras de proceso
- Limpieza
- Precisión de posicionamiento
Descripción
El manipulador de vacío SIASUN serie PHOENIX opera dentro de un módulo de transferencia al vacío (VTM) o cámara de transferencia de una herramienta cluster. Mueve sustratos (habitualmente obleas de silicio) entre esclusas de carga y múltiples cámaras de proceso.
Mantiene una limpieza rigurosa, precisión de posicionamiento y requisitos de tiempo de actividad como parte del ecosistema de automatización front-end.
La serie Phoenix atiende aplicaciones en los sectores semiconductor, logística, investigación e inspección.
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Características
Especificaciones
| Modelo | Vacuum Manipulator PHOENIX Series |
|---|---|
| Tipo de robot | Manipulador de vacío |
| Uso previsto | Herramienta de clúster VTM |
| Marca | SIASUN |
Sectores
Preguntas frecuentes
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El SIASUN PHOENIX Vacuum Manipulator opera en módulos de transferencia en vacío y equipos clúster. Manipulación de obleas de silicio con limpieza estricta y precisión de posicionamiento.
Manipulador de vacío SIASUN serie Phoenix es ideal para aplicaciones en los sectores Industrial.
Sí. Robotix Market realiza envíos a todo el mundo con soporte logístico completo, gestión aduanera y asistencia posventa.
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