El manipulador atmosférico SIASUN Blade-D156 mueve obleas (o sustratos similares a obleas) entre módulos front-end, puertos de carga, alineadores, estaciones de inspección e interfaces de herramientas de proceso a presión ambiente.

Se posiciona como una plataforma de transferencia compacta y de precisión, a menudo parte de un EFEM o de una celda integrada de manipulación de materiales.

El Blade-D156 atiende aplicaciones de manipulación atmosférica en los sectores semiconductor, de inspección e industrial.

Contáctenos para conocer precios y disponibilidad.