- Substrattransfer
- Load Locks
- Vakuumkammern
- Wiederholbarer Durchsatz
- Präzise Handhabung
- Reduzierter Eingriff
Beschreibung
Der SIASUN SM15 Vakuumroboter transferiert Substrate (z. B. Wafer) oder empfindliche Teile zwischen Load-Locks, Vakuumkammern und internen Stationen in integrierten Prozessanlagen.
Unterstützt wiederholgenauen Durchsatz, präzises Handling und weniger menschliche Eingriffe in der Halbleiterfertigung.
Der SM15 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter, Inspektion und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | SM15 |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuumroboter |
| Verwendungszweck | Halbleiter-Prozesstools |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Der SIASUN SM15 Vacuum Robot transferiert Substrate zwischen Load-Locks und Prozessstationen. Präzise Handhabung für den Durchsatz in der Halbleiterfertigung.
SIASUN Vakuumroboter SM15 eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Vakuumroboter SM15
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