Der SIASUN SM15 Vakuumroboter transferiert Substrate (z. B. Wafer) oder empfindliche Teile zwischen Load-Locks, Vakuumkammern und internen Stationen in integrierten Prozessanlagen.

Unterstützt wiederholgenauen Durchsatz, präzises Handling und weniger menschliche Eingriffe in der Halbleiterfertigung.

Der SM15 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter, Inspektion und Industrie eingesetzt.

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